アクティブ除振システム｜株式会社ナベヤ

アクティブ除振システム

アクティブ除振システムとは

アクティブ除振システムとは、半導体製造などに代表される精密な加工や検査、分析などの工程で求められる、人が感じない僅かな振動への対策に適したシステムです。
弊社ではより高度な振動対策を求められる顧客のニーズに応えるべく、「シリアル型アクティブ制御、ピエゾ素子駆動」を採用した業界トップレベルの除振装置（以下、STACIS）を取り扱い、半導体製造を始めとした様々な現場での振動課題に応えております。

除振装置

使用イメージ

特長

ここからは弊社が取り扱うアクティブ除振システム「STACISシリーズ」の特長について説明していきます。

装置稼動の影響を受けにくいシリアル型アクティブ

STACISシリーズは独自のシリアル型アクティブとなっており、装置内のInner Massを静止させ振動の無い環境を作ります。
そのため搭載装置の状態や動きに左右されず、常に最大の除振効果を発揮します。（STACIS4：2Hzで87%～99.9%減衰）

一般的な【パラレル型】アクティブ

独自の【シリアル型】アクティブ

揺れにくいエラストマー採用（スループットの改善）

SPRINGにはエアマウントやばねに比べ剛性の高いエラストマを使用し搭載装置が大きく動いても揺れにくい構造です。
また、搭載装置に内蔵されたパッシブ除振マウントやアクティブ除振マウントとの共振がなく低周波域も安定した除振効果が得られます。

ピエゾ素子アクチュエータによる広域制御

アクチュエータには高応答のピエゾ素子を採用しているため広域の振動抑制が可能です。（STACIS4制御範囲：0.2～150Hz）
また、電源のみで動作し煩わしいエアーの供給が不要です。

特性グラフ

鉛直

水平

仕様

STACIS4性能

アクティブ軸	6
アクティブ帯域幅	0.2-150Hz
1Hzでの減衰率	85-96%
2Hzでの減衰率	96-99.9%
設定時間	20ms
設置ノイズレベル	<0.05nm RMS
耐荷重/Stacis	低容量：182～ 500kg 中容量：410～ 955kg 高容量：864~2045kg
剛性(1000lb./454kgの質量、中容量アイソレータ)	73×105N/
磁場 102mm離れた位置	<0.2μG広帯域RMS

ローラー仕様

寸法(W×D×H)	483×216×45mm
重量	2.9kg
プロセッサー	150/75MHz デュアルコア
サンプリング	10kHz
アナログ出力	16チャンネル
アナログ入力	16チャンネル
動作信号	LED
正面パネルポート	シリアルUSB 2.0 x1、シリアルMicro-USB x1、イーサネット RJ-45 x1、BNCx2
背面パネルポート	Ix シリアルUSB2.0、1x イーサネット RJ-45、1x RS-232 DB-9 レガシーシリアル（レガシーSTACIS2100 アイソレータ用）
インターフェース	正面パネル LCD Microsoft Windows用の拡張GUI 組み込みイーサーネットGUI

デザイン、寸法及び環境

環境と安全	CEおよびRoHS準拠、NRTL安全認証基準に準拠する設計
アクティブ絶縁要素	圧電素子は高電圧アンプによって動作します。垂直アクチュエータは分離されたペイロードをサポートします。
Pパッシブ絶縁要素	単一方性ハードマウントエラストマー（圧縮空気供給は不要）
振動センサー素子	ジオフォン型慣性センサーは床の振動を測定し、振動運動の速度に比例した信号を制御システムに送ります。
アクティブフィードバック制御ループ	床の振動は、隔離された表面を支えるバネ下で測定、処理、減衰されます。
アイソレータの寸法（幅×奥行×高さ）	300×320×275
Stacis 重量	34kg
操作環境温度	10°-32℃
保管環境温度	-40°-55℃
湿度	＜80％＠20℃
供給電源	100,120,230,240 VAC 50/60Hz AC;<600W
１システムあたりのStacis数	最小3台、搭載物の仕様により追加可能
オプション	積層ステンレス鋼プラットフォーム、フレーム、ライザー、レベリング装置、自身拘束装置、リフトフード