セラミック吸着テーブル
E-9935
仕様/価格
| オーダーNo. | No. | サイズ | 平面度(μm) | 質量kg | 価格 | 在庫設定 | 在庫情報 | 製品BOX | CAD | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| DXF | STEP | |||||||||
| 978845 | CAT0507S | 70 | 15 | 0.6 | 265,000 | × | お問合わせ | 追加 |
|
|
| 978846 | CAT1012S | 120 | 15 | 1.5 | 376,000 | × | お問合わせ | 追加 |
|
|
| 978847 | CAT1518S | 180 | 15 | 3.4 | 555,000 | × | お問合わせ | 追加 |
|
|
| 978848 | CAT2023S | 230 | 15 | 5.6 | 715,000 | × | お問合わせ | 追加 |
|
|
| 978849 | CAT2528S | 280 | 25 | 11.3 | 885,000 | × | お問合わせ | 追加 |
|
|
| 978850 | CAT3033S | 330 | 25 | 15.7 | 1,070,000 | × | お問合わせ | 追加 |
|
|
| 978851 | CAT0507R | 70 | 15 | 0.4 | 226,000 | × | お問合わせ | 追加 |
|
|
| 978852 | CAT1012R | 120 | 15 | 1.2 | 265,000 | × | お問合わせ | 追加 |
|
|
| 978853 | CAT1517R | 170 | 15 | 2.4 | 325,000 | × | お問合わせ | 追加 |
|
|
| 978854 | CAT2022R | 220 | 15 | 4 | 474,000 | × | お問合わせ | 追加 |
|
|
| 978855 | CAT2527R | 270 | 25 | 8.2 | 645,000 | × | お問合わせ | 追加 |
|
|
| 978856 | CAT3032R | 320 | 25 | 11.5 | 820,000 | × | お問合わせ | 追加 |
|
|
| 117083 | CAT0507SM | 70 | 15 | 0.6 | 289,000 | × | お問合わせ | 追加 |
|
|
| 117084 | CAT1012SM | 120 | 15 | 1.5 | 446,000 | × | お問合わせ | 追加 |
|
|
| 117085 | CAT1518SM | 180 | 15 | 3.4 | 775,000 | × | お問合わせ | 追加 |
|
|
| 117086 | CAT2023SM | 230 | 15 | 5.6 | 1,070,000 | × | お問合わせ | 追加 |
|
|
| 117087 | CAT2528SM | 280 | 25 | 11.3 | 1,250,000 | × | お問合わせ | 追加 |
|
|
| 117088 | CAT3033SM | 330 | 25 | 15.7 | 1,510,000 | × | お問合わせ | 追加 |
|
|
| 117089 | CAT0507RM | 70 | 15 | 0.4 | 285,000 | × | お問合わせ | 追加 |
|
|
| 117090 | CAT1012RM | 120 | 15 | 1.2 | 430,000 | × | お問合わせ | 追加 |
|
|
| 117091 | CAT1517RM | 170 | 15 | 2.4 | 750,000 | × | お問合わせ | 追加 |
|
|
| 117092 | CAT2022RM | 220 | 15 | 4 | 945,000 | × | お問合わせ | 追加 |
|
|
| 117093 | CAT2527RM | 270 | 25 | 8.2 | 1,140,000 | × | お問合わせ | 追加 |
|
|
| 117094 | CAT3032RM | 320 | 25 | 11.5 | 1,420,000 | × | お問合わせ | 追加 |
|
|
寸法図・サイズ表
| 選択 | オーダーNo. | No. | A | B | C | D | E | F | G | H | I | J | K | L | M | N |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 978845 | CAT0507S | 70 | 15 | 50 | 17.5 | 17.5 | - | 8 | 7 | 35 | 9 | 4.2 | 2 | 62 | 4 | |
| 978846 | CAT1012S | 120 | 15 | 100 | 30 | 30 | - | 8 | 7 | 60 | 9 | 4.2 | 2 | 112 | 4 | |
| 978847 | CAT1518S | 180 | 15 | 150 | 45 | 45 | 90 | 10 | 15 | 90 | 9 | 4.2 | 2 | 172 | 4 | |
| 978848 | CAT2023S | 230 | 15 | 200 | 57.5 | 57.5 | 115 | 10 | 15 | 115 | 9 | 4.2 | 2 | 222 | 4 | |
| 978849 | CAT2528S | 280 | 20 | 250 | 70 | 70 | 140 | 10 | 15 | 140 | 12 | 4.2 | 2 | 272 | 4 | |
| 978850 | CAT3033S | 330 | 20 | 300 | 82.5 | 82.5 | 165 | 10 | 15 | 165 | 12 | 4.2 | 2 | 322 | 4 | |
| 978851 | CAT0507R | 70 | 15 | 50 | 45° | 56.5 | - | - | 8 | 35 | 9 | - | - | φ62 | 4 | |
| 978852 | CAT1012R | 120 | 15 | 100 | 45° | 106.5 | - | - | 8 | 60 | 9 | - | - | φ112 | 4 | |
| 978853 | CAT1517R | 170 | 15 | 150 | 45° | 156.5 | - | - | 8 | 85 | 9 | - | - | φ162 | 4 | |
| 978854 | CAT2022R | 220 | 15 | 200 | 45° | 206.5 | - | - | 8 | 110 | 9 | - | - | φ212 | 4 | |
| 978855 | CAT2527R | 270 | 20 | 250 | 45° | 256.5 | - | - | 8 | 135 | 12 | - | - | φ262 | 4 | |
| 978856 | CAT3032R | 320 | 20 | 300 | 45° | 306.5 | - | - | 8 | 160 | 12 | - | - | φ312 | 4 | |
| 117083 | CAT0507SM | 70 | 15 | 50 | 17.5 | 17.5 | - | 8 | 7 | 35 | 9 | 4.2 | 2 | 62 | 4 | |
| 117084 | CAT1012SM | 120 | 15 | 100 | 30 | 30 | - | 8 | 7 | 60 | 9 | 4.2 | 2 | 112 | 4 | |
| 117085 | CAT1518SM | 180 | 15 | 150 | 45 | 45 | 90 | 10 | 15 | 90 | 9 | 4.2 | 2 | 172 | 4 | |
| 117086 | CAT2023SM | 230 | 15 | 200 | 57.5 | 57.5 | 115 | 10 | 15 | 115 | 9 | 4.2 | 2 | 222 | 4 | |
| 117087 | CAT2528SM | 280 | 20 | 250 | 70 | 70 | 140 | 10 | 15 | 140 | 12 | 4.2 | 2 | 272 | 4 | |
| 117088 | CAT3033SM | 330 | 20 | 300 | 82.5 | 82.5 | 165 | 10 | 15 | 165 | 12 | 4.2 | 2 | 322 | 4 | |
| 117089 | CAT0507RM | 70 | 15 | 50 | 45° | 56.5 | - | - | 8 | 35 | 9 | - | - | Φ62 | 4 | |
| 117090 | CAT1012RM | 120 | 15 | 100 | 45° | 106.5 | - | - | 8 | 60 | 9 | - | - | Φ112 | 4 | |
| 117091 | CAT1517RM | 170 | 15 | 150 | 45° | 156.5 | - | - | 8 | 85 | 9 | - | - | Φ162 | 4 | |
| 117092 | CAT2022RM | 220 | 15 | 200 | 45° | 206.5 | - | - | 8 | 110 | 9 | - | - | Φ212 | 4 | |
| 117093 | CAT2527RM | 270 | 20 | 250 | 45° | 256.5 | - | - | 8 | 135 | 12 | - | - | Φ262 | 4 | |
| 117094 | CAT3032RM | 320 | 20 | 300 | 45° | 306.5 | - | - | 8 | 160 | 12 | - | - | Φ312 | 4 |
材質・熱処理・表面処理
| 名称 | 材質 |
|---|---|
| セラミック吸着テーブル | 吸着面：アルミナ系セラミックス ベース：SUS303 |
特長
-
■薄いワークを高精度な平面で変形・歪みなく素早く吸着可能
ワークを吸着する面は高精度な平面度（15/25μm）に仕上げてあり、均一かつ微細な気孔径（2/55㎛）からワークをエアで引き込み吸着します。
■ワークの歪み補正や剛性有無などに合わせて選定できる２タイプのバリエーション
ワークに歪みがあり矯正させたい場合は、気孔径55㎛タイプが最適です。接触面以外の吸着面をマスキングすることで、吸着力を高めて歪みを矯正・吸着できます。
ワークの剛性が弱い場合は、気孔径2㎛タイプが最適です。マスキングする必要なく吸着でき、サイズ変更や多数個取りなどの段取り性にも優れています。
■優れた耐食性とメンテナンス性でクリーン環境や幅広い温度環境にも使用可能
吸着面は多孔質セラミックで、負圧を利用しており粉じんがでません。
また、ベースの材質は耐食性に優れたステンレスを使用しています。使用可能温度は0℃～80℃です。
■素早い段取り。自動化にも対応可能
真空発生機器（真空ポンプ/エジェクタ）を介したエアのON/OFFのみで素早くクランプ/アンクランプできます。
機械/装置側でエア供給を制御することによりクランプ/アンクランプ操作を自動化できます。
■寸法精度を長期間維持でき、安定した性能を発揮
アルミナ系セラミックスは非常に硬度が高く耐摩耗性に優れているため、寸法精度を長期間維持できます。
構成図
CAT-S(M)
CAT-R(M)
使用例
グリーンシート、ポリイミドフィルム、軽軟材・薄物材などの吸着に便利です。
●素早いワークのクランプ作業で段取り時間短縮
テーブル上にワークをセットして真空発生装置のエアをONするだけで吸着
使用方法
セラミック吸着テーブルは、テーブル上にワークを載せ負圧を発生させることでワークの保持をします。
※気孔径 55μm タイプは、ワークで覆われていない箇所にマスキングが必要になります。
※セラミック吸着テーブルには真空発生装置が搭載されていないため、真空ポンプもしくは真空エジェクタが別途必要になります。
必要な真空圧力に応じた製品を選定してください。
●クランプ方法
-
真空ポンプ または 真空エジェクタをセラミック吸着テーブルに接続します。
-
ワークを吸着テーブル上に載せます。ワークがテーブルを全面覆わない場合は、ワークの無い箇所を マスキングしてください 。 ※CAT-SM(RM)はマスキングなしで吸着可能 。
-
真空発生装置を動作させます。
●アンクランプ方法
真空発生装置を停止してください。
■注意事項
・ご使用前に各部に異常がないか点検してください。
・有機溶剤は使用しないでください。
・圧力を1か所に集中しないでください。多孔質セラミックが破損する恐れがあります。
・急激な温度変化や局所的な温度変化を与えないでください。破損・破裂の可能性があります。
・ワンタッチ継手へ高圧力のエアーを供給しないでください。
供給エア圧力は0.2MPa以下としてください。セラミック部破損の恐れがあります。
・アルミナ系セラミックスは、粒子構造によって製造されています。
そのためわずかに凹凸が生じ、硬度も非常に高いため、吸着するワークの剛性や素材によっては微細な吸着痕がつく可能性があります。
・使用面は吸着面（多孔質セラミック）とベースを同時研削（▽▽▽）しておりますが、面粗度の保証はベースのみとなります。
（多孔質セラミックの性質上、面粗度は測定できないため）
取付方法
●固定方法
機械テーブル、ベースプレート等への固定は、外周の段差をご使用ください。
特注品対応
●対応可能サイズ
| 形状 | サイズ |
|---|---|
| 角型 | 700×1300 まで |
| 丸型 | φ900 まで |
※セラミック分割タイプの場合は2200×2500
●対応形状
・ドーナツ型
・多角形 など
●吸着面の追加
1つのベース内に複数の吸着面
●追加工可能範囲
ベース部分（多孔質セラミックの裏側は除く）
●色の変更
・セラミック部
標準は黒。白、濃紺、青、茶色など
●材質変更
・セラミック部：樹脂
・ベース部：石
素材のベース材質や気孔径、サイズによっては変更できない場合もありますので、サイズ、指定の色、材質などを記載のうえお問合せください。
修理対応
●目詰まり対応について
お客様にて超音波洗浄または水、エアーによるクリーニングを行われても目詰まりが解消しない場合は、弊社で吸着面の研削が可能です。
●セラミックス割れ欠けの対応
セラミックスに割れや欠けが入り使用できない場合は、セラミックス部分を交換することができます。
※吸着面の研削及びセラミックス部分の交換にかかる費用および納期は都度お見積りとなります。
お取り引き代理店様・販売店様に製品の型式と依頼内容を明記の上、修理見積を依頼してください。
●その他
上記以外で異常がある場合は、弊社では修理対応を行っておりません。
異常が見られる場合は、新しいものに交換をお願いいたします。
メンテナンス方法
●清掃
使用後はエアーガン等で吸着面のごみやほこりを除去してください。
吸着口からエアーを逆噴射して、セラミック内部の異物を排出してください（供給エアー圧：0.2MPa以下）。
定期的に水洗浄を行っていただくと効果的です。また超音波洗浄機のご使用も可能です（水以外使用不可）。
●乾燥
水での洗浄を行った場合は、自然乾燥してください（目安：8～24時間）。
ドライヤーや乾燥機等による熱を加えての乾燥は行わないでください。
●保管
使用後、長期間保管する場合は吸着面にごみやほこりが付着しないようビニール袋等に入れて保管してください。
選定方法
●ワーク形状から選ぶ
| ワーク形状 | No |
|---|---|
| 角型 | CAT-S(M) |
| 丸型 | CAT-R(M) |
●サイズから選ぶ
吸着力を強くしたい、マスキング無しで使用したい場合
：ワークがテーブルを全面覆うサイズ
複数個、様々なサイズ・形状のワークを吸着したい、マスキングをしても良い場合
：ワークよりテーブルが大きいサイズ
●気孔径から選ぶ
気孔径：55μm（CAT-S（R））
・吸着力（ワークの吸引力）を強くしたい場合
・マスキングをしても良い場合
気孔径：2μm（CAT-SM（RM））
・複数個セットしたい場合
・様々なサイズ・形状のワークを吸着したい場合
・マスキング無しの場合
・硬度の低いワークへの傷を抑えたい場合