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RoHS対応

セラミック吸着テーブル

E-9935

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ポーラス(多孔質セラミック)と吸引による負圧を利用して薄いワークを高精度な平面に吸着・固定する製品です​。 ダイシングソー、各種半導体製造装置や検査装置に組み込まれ、ウェハ、フィルム、基板、紙などの薄物ワークの吸着固定し、測定、加工、塗布などの工程に使用されます。

仕様/価格

オーダーNo. No. サイズ 平面度(μm) 質量kg 価格 在庫設定 在庫情報 製品BOX CAD
DXF STEP
978845 CAT0507S 70 15 0.6 265,000 × お問合わせ 追加 DL DL
978846 CAT1012S 120 15 1.5 376,000 × お問合わせ 追加 DL DL
978847 CAT1518S 180 15 3.4 555,000 × お問合わせ 追加 DL DL
978848 CAT2023S 230 15 5.6 715,000 × お問合わせ 追加 DL DL
978849 CAT2528S 280 25 11.3 885,000 × お問合わせ 追加 DL DL
978850 CAT3033S 330 25 15.7 1,070,000 × お問合わせ 追加 DL DL
978851 CAT0507R 70 15 0.4 226,000 × お問合わせ 追加 DL DL
978852 CAT1012R 120 15 1.2 265,000 × お問合わせ 追加 DL DL
978853 CAT1517R 170 15 2.4 325,000 × お問合わせ 追加 DL DL
978854 CAT2022R 220 15 4 474,000 × お問合わせ 追加 DL DL
978855 CAT2527R 270 25 8.2 645,000 × お問合わせ 追加 DL DL
978856 CAT3032R 320 25 11.5 820,000 × お問合わせ 追加 DL DL
117083 CAT0507SM 70 15 0.6 289,000 × お問合わせ 追加 DL DL
117084 CAT1012SM 120 15 1.5 446,000 × お問合わせ 追加 DL DL
117085 CAT1518SM 180 15 3.4 775,000 × お問合わせ 追加 DL DL
117086 CAT2023SM 230 15 5.6 1,070,000 × お問合わせ 追加 DL DL
117087 CAT2528SM 280 25 11.3 1,250,000 × お問合わせ 追加 DL DL
117088 CAT3033SM 330 25 15.7 1,510,000 × お問合わせ 追加 DL DL
117089 CAT0507RM 70 15 0.4 285,000 × お問合わせ 追加 DL DL
117090 CAT1012RM 120 15 1.2 430,000 × お問合わせ 追加 DL DL
117091 CAT1517RM 170 15 2.4 750,000 × お問合わせ 追加 DL DL
117092 CAT2022RM 220 15 4 945,000 × お問合わせ 追加 DL DL
117093 CAT2527RM 270 25 8.2 1,140,000 × お問合わせ 追加 DL DL
117094 CAT3032RM 320 25 11.5 1,420,000 × お問合わせ 追加 DL DL

寸法図・サイズ表

選択 オーダーNo. No. A B C D E F G H I J K L M N
978845 CAT0507S 70 15 50 17.5 17.5 - 8 7 35 9 4.2 2 62 4
978846 CAT1012S 120 15 100 30 30 - 8 7 60 9 4.2 2 112 4
978847 CAT1518S 180 15 150 45 45 90 10 15 90 9 4.2 2 172 4
978848 CAT2023S 230 15 200 57.5 57.5 115 10 15 115 9 4.2 2 222 4
978849 CAT2528S 280 20 250 70 70 140 10 15 140 12 4.2 2 272 4
978850 CAT3033S 330 20 300 82.5 82.5 165 10 15 165 12 4.2 2 322 4
978851 CAT0507R 70 15 50 45° 56.5 - - 8 35 9 - - φ62 4
978852 CAT1012R 120 15 100 45° 106.5 - - 8 60 9 - - φ112 4
978853 CAT1517R 170 15 150 45° 156.5 - - 8 85 9 - - φ162 4
978854 CAT2022R 220 15 200 45° 206.5 - - 8 110 9 - - φ212 4
978855 CAT2527R 270 20 250 45° 256.5 - - 8 135 12 - - φ262 4
978856 CAT3032R 320 20 300 45° 306.5 - - 8 160 12 - - φ312 4
117083 CAT0507SM 70 15 50 17.5 17.5 - 8 7 35 9 4.2 2 62 4
117084 CAT1012SM 120 15 100 30 30 - 8 7 60 9 4.2 2 112 4
117085 CAT1518SM 180 15 150 45 45 90 10 15 90 9 4.2 2 172 4
117086 CAT2023SM 230 15 200 57.5 57.5 115 10 15 115 9 4.2 2 222 4
117087 CAT2528SM 280 20 250 70 70 140 10 15 140 12 4.2 2 272 4
117088 CAT3033SM 330 20 300 82.5 82.5 165 10 15 165 12 4.2 2 322 4
117089 CAT0507RM 70 15 50 45° 56.5 - - 8 35 9 - - Φ62 4
117090 CAT1012RM 120 15 100 45° 106.5 - - 8 60 9 - - Φ112 4
117091 CAT1517RM 170 15 150 45° 156.5 - - 8 85 9 - - Φ162 4
117092 CAT2022RM 220 15 200 45° 206.5 - - 8 110 9 - - Φ212 4
117093 CAT2527RM 270 20 250 45° 256.5 - - 8 135 12 - - Φ262 4
117094 CAT3032RM 320 20 300 45° 306.5 - - 8 160 12 - - Φ312 4

材質・熱処理・表面処理

名称 材質
セラミック吸着テーブル 吸着面：アルミナ系セラミックス
ベース：SUS303

特長

■薄いワークを高精度な平面で変形・歪みなく素早く吸着可能
ワークを吸着する面は高精度な平面度（15/25μm）に仕上げてあり、均一かつ微細な気孔径（2/55㎛）からワークをエアで引き込み吸着します。

■ワークの歪み補正や剛性有無などに合わせて選定できる２タイプのバリエーション
ワークに歪みがあり矯正させたい場合は、気孔径55㎛タイプが最適です。接触面以外の吸着面をマスキングすることで、吸着力を高めて歪みを矯正・吸着できます。
ワークの剛性が弱い場合は、気孔径2㎛タイプが最適です。マスキングする必要なく吸着でき、サイズ変更や多数個取りなどの段取り性にも優れています。

■優れた耐食性とメンテナンス性でクリーン環境や幅広い温度環境にも使用可能
吸着面は多孔質セラミックで、負圧を利用しており粉じんがでません。
また、ベースの材質は耐食性に優れたステンレスを使用しています。使用可能温度は0℃～80℃です。

■素早い段取り。自動化にも対応可能
真空発生機器（真空ポンプ/エジェクタ）を介したエアのON/OFFのみで素早くクランプ/アンクランプできます。
機械/装置側でエア供給を制御することによりクランプ/アンクランプ操作を自動化できます。

構成図

CAT-S(M)

CAT-R(M)

使用例

グリーンシート、ポリイミドフィルム、軽軟材・薄物材などの吸着に便利です。

 

 

 

●素早いワークのクランプ作業で段取り時間短縮

テーブル上にワークをセットして真空発生装置のエアをONするだけで吸着

 

使用方法

セラミック吸着テーブルは、テーブル上にワークを載せ負圧を発生させることでワークの保持をします。

 

 

※気孔径 55μm タイプは、ワークで覆われていない箇所にマスキングが必要になります。

 

 

※セラミック吸着テーブルには真空発生装置が搭載されていないため、真空ポンプもしくは真空エジェクタが別途必要になります。

　必要な真空圧力に応じた製品を選定してください。

 

 

●クランプ方法

 

  • 真空ポンプ または 真空エジェクタをセラミック吸着テーブルに接続します。

     

     

     

     

  • ワークを吸着テーブル上に載せます。ワークがテーブルを全面覆わない場合は、ワークの無い箇所を マスキングしてください 。 ※CAT-SM(RM)はマスキングなしで吸着可能 。

     

  • 真空発生装置を動作させます。

     

     

 

 

●アンクランプ方法

真空発生装置を停止してください。

 

 

■注意事項

・ご使用前に各部に異常がないか点検してください。

・有機溶剤は使用しないでください。

・圧力を1か所に集中しないでください。多孔質セラミックが破損する恐れがあります。

・急激な温度変化や局所的な温度変化を与えないでください。破損・破裂の可能性があります。

・ワンタッチ継手へ高圧力のエアーを供給しないでください。

　供給エア圧力は0.2MPa以下としてください。セラミック部破損の恐れがあります。

取付方法

●固定方法

機械テーブル、ベースプレート等への固定は、外周の段差をご使用ください。

特注品対応

●対応可能サイズ

形状 サイズ
角型 700×1300　まで
丸型 φ900　まで

※セラミック分割タイプの場合は2200×2500

 

 

●対応形状

・ドーナツ型

・多角形　　　など

 

 

●吸着面の追加

1つのベース内に複数の吸着面

 

 

 

●吸着面の追加

ベース部分（多孔質セラミックの裏側は除く）

 

 

●セラミック部の色

標準は黒。白、濃紺、青、茶色　など

修理対応

本製品の修理対応は行っておりません。

異常などが見られる場合は、交換をお願いいたします。

メンテナンス方法

●清掃

使用後はエアーガン等で吸着面のごみやほこりを除去してください。

吸着口からエアーを逆噴射して、セラミック内部の異物を排出してください（供給エアー圧：0.2MPa以下）。

定期的に水洗浄を行っていただくと効果的です。また超音波洗浄機のご使用も可能です（水以外使用不可）。

 

 

●乾燥

水での洗浄を行った場合は、自然乾燥してください（目安：8～24時間）。

ドライヤーや乾燥機等による熱を加えての乾燥は行わないでください。

 

 

●保管

使用後、長期間保管する場合は吸着面にごみやほこりが付着しないようビニール袋等に入れて保管してください。

 

 

●オーバーホール

洗浄で目詰まりが解消しない場合は、吸着面の研削が可能です。

セラミック部の割れや欠けが生じた場合は、セラミック部の交換が可能です。

選定方法

●ワーク形状から選ぶ

 

ワーク形状 No
角型 CAT-S(M)
丸型 CAT-R(M)

 

 

●サイズから選ぶ

 

吸着力を強くしたい、マスキング無しで使用したい場合

：ワークがテーブルを全面覆うサイズ

 

複数個、様々なサイズ・形状のワークを吸着したい、マスキングをしても良い場合

：ワークよりテーブルが大きいサイズ

 

 

●気孔径から選ぶ

吸着力（ワークの吸引力）を強くしたい、マスキングをしても良い場合：CAT-S（R）

複数個セットしたい、様々なサイズ・形状のワークを吸着したい、マスキング無しの場合：CAT-SM(RM)