• ERON

RoHS対応

セラミック吸着テーブル

E-9935

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仕様/価格

オーダーNo. No. サイズ 平面度(μm) 質量kg 価格 在庫設定 在庫情報 製品BOX CAD
DXF STEP
978845 CAT0507S 70 15 0.6 265,000 × お問合わせ 追加 DL DL
978846 CAT1012S 120 15 1.5 376,000 × お問合わせ 追加 DL DL
978847 CAT1518S 180 15 3.4 555,000 × お問合わせ 追加 DL DL
978848 CAT2023S 230 15 5.6 715,000 × お問合わせ 追加 DL DL
978849 CAT2528S 280 25 11.3 885,000 × お問合わせ 追加 DL DL
978850 CAT3033S 330 25 15.7 1,070,000 × お問合わせ 追加 DL DL
978851 CAT0507R 70 15 0.4 226,000 × お問合わせ 追加 DL DL
978852 CAT1012R 120 15 1.2 265,000 × お問合わせ 追加 DL DL
978853 CAT1517R 170 15 2.4 325,000 × お問合わせ 追加 DL DL
978854 CAT2022R 220 15 4 474,000 × お問合わせ 追加 DL DL
978855 CAT2527R 270 25 8.2 645,000 × お問合わせ 追加 DL DL
978856 CAT3032R 320 25 11.5 820,000 × お問合わせ 追加 DL DL
117083 CAT0507SM 70 15 0.6 289,000 × お問合わせ 追加 DL DL
117084 CAT1012SM 120 15 1.5 446,000 × お問合わせ 追加 DL DL
117085 CAT1518SM 180 15 3.4 775,000 × お問合わせ 追加 DL DL
117086 CAT2023SM 230 15 5.6 1,070,000 × お問合わせ 追加 DL DL
117087 CAT2528SM 280 25 11.3 1,250,000 × お問合わせ 追加 DL DL
117088 CAT3033SM 330 25 15.7 1,510,000 × お問合わせ 追加 DL DL
117089 CAT0507RM 70 15 0.4 285,000 × お問合わせ 追加 DL DL
117090 CAT1012RM 120 15 1.2 430,000 × お問合わせ 追加 DL DL
117091 CAT1517RM 170 15 2.4 750,000 × お問合わせ 追加 DL DL
117092 CAT2022RM 220 15 4 945,000 × お問合わせ 追加 DL DL
117093 CAT2527RM 270 25 8.2 1,140,000 × お問合わせ 追加 DL DL
117094 CAT3032RM 320 25 11.5 1,420,000 × お問合わせ 追加 DL DL

寸法図・サイズ表

選択 オーダーNo. No. A B C D E F G H I J K L M N
978845 CAT0507S 70 15 50 17.5 17.5 - 8 7 35 9 4.2 2 62 4
978846 CAT1012S 120 15 100 30 30 - 8 7 60 9 4.2 2 112 4
978847 CAT1518S 180 15 150 45 45 90 10 15 90 9 4.2 2 172 4
978848 CAT2023S 230 15 200 57.5 57.5 115 10 15 115 9 4.2 2 222 4
978849 CAT2528S 280 20 250 70 70 140 10 15 140 12 4.2 2 272 4
978850 CAT3033S 330 20 300 82.5 82.5 165 10 15 165 12 4.2 2 322 4
978851 CAT0507R 70 15 50 45° 56.5 - - 8 35 9 - - φ62 4
978852 CAT1012R 120 15 100 45° 106.5 - - 8 60 9 - - φ112 4
978853 CAT1517R 170 15 150 45° 156.5 - - 8 85 9 - - φ162 4
978854 CAT2022R 220 15 200 45° 206.5 - - 8 110 9 - - φ212 4
978855 CAT2527R 270 20 250 45° 256.5 - - 8 135 12 - - φ262 4
978856 CAT3032R 320 20 300 45° 306.5 - - 8 160 12 - - φ312 4
117083 CAT0507SM 70 15 50 17.5 17.5 - 8 7 35 9 4.2 2 62 4
117084 CAT1012SM 120 15 100 30 30 - 8 7 60 9 4.2 2 112 4
117085 CAT1518SM 180 15 150 45 45 90 10 15 90 9 4.2 2 172 4
117086 CAT2023SM 230 15 200 57.5 57.5 115 10 15 115 9 4.2 2 222 4
117087 CAT2528SM 280 20 250 70 70 140 10 15 140 12 4.2 2 272 4
117088 CAT3033SM 330 20 300 82.5 82.5 165 10 15 165 12 4.2 2 322 4
117089 CAT0507RM 70 15 50 45° 56.5 - - 8 35 9 - - Φ62 4
117090 CAT1012RM 120 15 100 45° 106.5 - - 8 60 9 - - Φ112 4
117091 CAT1517RM 170 15 150 45° 156.5 - - 8 85 9 - - Φ162 4
117092 CAT2022RM 220 15 200 45° 206.5 - - 8 110 9 - - Φ212 4
117093 CAT2527RM 270 20 250 45° 256.5 - - 8 135 12 - - Φ262 4
117094 CAT3032RM 320 20 300 45° 306.5 - - 8 160 12 - - Φ312 4

材質・熱処理・表面処理

名称 材質
セラミック吸着テーブル 上面：アルミナ系セラミックス
ベース：SUS303

特長

[CAT-S(R)]平均気孔径：55μm　平均気孔率：45～50％
[CAT-SM(RM)]平均気孔径：2μm　平均気孔率：40％

■グリーンシート、ポリイミドフィルム、軽軟材・薄物材などの吸着に便利です。
■多孔質セラミックス吸着テーブルです。
■気孔径が平均55μmと機械加工による穴径に比べ小さく、被吸着物の変形量が少なくなります。
■気孔径2μmタイプは着面を全面覆わない部分的な吸着をマスキングなしでできます。また、剛性の低い極薄（板厚数μm）を変形せずに吸着できます。
■セラミックス内部からの粉塵がでません。
■セラミックスとSUS材からできており高防錆です。
■目詰まり・セラミックス欠けの修理が可能です。
■最大900㎜×900㎜まで標準品以外の寸法も製作できます。

使用例

 

 

■内部構造