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高性能エアーマウント AMG

E-9928

E-9928/高性能エアーマウント AMG

特長
[使用圧力範囲]0.1~0.4(Mpa)
[固有振動数]水平1.5Hz、鉛直2.5Hz以下

■ハイダンピング機構により揺れをすばやく減衰できます。
■特殊水平機構により優れた除振性能を発揮できます。
■全長は全て同じ高さです。
■オートレべリング機能により偏荷重に対応できます。
■クリーンルームでのご使用もできます。(集中排気:オプション)
■過大浮上防止機構付

[用途]
■電子顕微鏡用(走査型・透過型顕微鏡)
■半導体製造装置、検査装置(ステッパー・FIB装置)
■化学分析機器(薄膜硬度計・磁気共鳴装置)
■各種精密検査・測定機・ステージ

仕様/価格表(4個1組)

オーダー
サイズ 許容耐荷重(4マウント) 質量kg(4個) 価格 寸法図 製品
BOX
在庫
設定
在庫
状況
kg N
116411 AMG070 125 90 ~420 ~4116 3.5(14.0) 429,000 確認 追加 × 問合せ
116412 AMG100 150 120 ~730 ~7154 5.2(20.8) 462,000 確認 追加 × 問合せ
116413 AMG200 200 160 ~1300 ~12740 8.3(33.2) 595,000 確認 追加 × 問合せ
116414 AMG500 250 200 ~3000 ~29400 16.6(66.4) 715,000 確認 追加 × 問合せ
116415 AMG800 320 250 ~4700 ~46060 28.1(112.4) 1,100,000 確認 追加 × 問合せ

使用例・使用説明

性能

◆振動電動率(AMG100 ユニット:500kg 搭載時)
 水平1.5Hz 鉛直2.5Hz

 

◆波動波形(AMG100 ユニット:500kg 搭載時
 一般的:約4sec→高性能:約1.5sec

 

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