事例で解決！振動対策

【精密装置設置床の振動問題を低コストで解決！】振動基準を超える床振動の除振

環境測定やシミュレーションで低コストな振動対策が実現！

三重県 / 半導体製造メーカ様

どんな問題が起きていた？

半導体の製造を行う精密装置を導入するために事前の環境測定を行ったところ、床の振動レベルが装置を導入するための振動基準を超えていることがわかりました。精密装置を導入して、安定した生産を行うには振動を基準内に収める必要がありますが、コストのかかる床の工事は行いたくないとのことで、振動対策のご相談をいただきました。

ナベヤの製品で振動問題を解決！

半導体などを製造する精密な装置は導入にあたって、振動レベルの明確な基準があります。この基準内に振動レベルを抑える必要があるため、事前に行った環境測定や床の振動データを元に、問題となっている周波数帯の振動を抑える除振台の導入を検討しました。シミュレーション結果に基づき、「防振マウント（重量型）」を導入、除振台の設計、製作、据付を行いました。

除振台製作プロセス

  1. 振動測定・解析 … 機器の設置環境の測定・解析を行います。
  2. 設計 … 床振動と機器の要求仕様に合わせて設計します。
  3. 製作・検査 … 加工・組立て・性能検査を行います。
  4. 据付 … 除振台の据付、据付後の測定検査を行います。

ナベヤでは、振動対策のプロが現在起きている振動でのお悩みを解決するだけでなく、装置導入の前段階から設置環境の調査を行うことができます。

ご紹介した製品はこちら

製品名 防振マウント（重量型）

除振対策後の効果は？

床の振動データに基づき設計された除振台の導入により、基準内に振動を抑えた設置環境を準備し、精密装置を導入することができました。また、大掛かりな床の工事を行うことなく導入することができたため、振動対策にかけるコストも大幅に削減することが出来ました。

対策関連製品

防振マウント（軽量型）

中量マウント

除振台 VPG

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